超纯气体处理

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        半导体工业用的超纯气体有氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等,它们大部分 是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂的残余气体中提取后进一步精制得到,根据原料气来源情况、杂质组份含量、纯度要求来选择相应的制备方法。集成电路发 展到兆位级后,对超净提出了更严格要求,在超纯气体或电子气体供气系统中,为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子,在使用气前须安装过滤器。

        (POU)过滤器是使用ISO 9001认证质量体系在最先进的Class 100洁净室中制造的。过滤器是精密焊接在一个特别设计的手套箱与大气净化。去离子水冲洗,然后是高压,0.003μm过滤氮冲洗去除颗粒,并防止颗粒脱落。

我们的POU过滤器根据需要真空干燥至小于10ppb的水分,有机物小于10ppb THC。POU过滤器采用无颗粒,化学清洁,无有机物处理和装袋的方式,可最大限度地提高安装在要求最严格的微电子应用中的包装外清洁度。超过半导体加工的高纯度气体处理过滤要求。                   

        我们高质量产品经过广泛的测试,以确保其满足半导体制造中气体输送系统的关键过滤效率,精确的流量控制和安全要求。